一九六一年,GCA是第一家制造商业步进和重复掩模减少设备的公司;七五年,推出了首个用于抗蚀剂加工的晶圆轨道;七八年,推出DSW 4800、第一个成功的晶圆光刻机;八五年研发出第一台为贝尔实验室开发的DUV步进投影式光刻机。 技术实力雄厚。 八八年,General Signal以七千六百万 第八九零章 投资Cymer